フェムト秒レーザーをガラス内部に集光することにより、ガラス内部の屈折率が変化し、光導波路を作成することが可能です。作成された光導波路を定量位相顕微鏡を用いて測定しました。
図１はフェムト秒レーザーの加工速度を左から順に40, 20, 10, 4, 2mm/秒と設定し、作成された光導波路の屈折率変化量の２次元分布を示しています。。
定量位相顕微鏡は、ガラス基板内部の屈折率分布を定量的に測定出来るために、必要な屈折率変化量に応じた最適なレーザー加工条件を導きます。
図1 フェムト秒レーザーにより形成された光導波路の屈折率分布測定
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