フェムト秒レーザーをガラス基板面に集光した際に生じるアブレーション現象により、透明なガラス表面に溝加工を施すことが可能です。
図２−１のガラス加工品を光学顕微鏡で観察しました。
図２−２の顕微鏡による強度画像を見ると、縦方向の溝に焦点が合っており、横方向の溝は画像がぼけていることが分かります。つまり、縦方向と横方向の溝の深さが異なることが推測できます。
次に、定量位相顕微鏡を用いて表面形状を測定した結果を図２−３に示します。このように、縦方向と横方向の溝は深さが異なることが定量的に測定出来ました。
図２−３の点線部の形状をプロットしたものを図２−４に示しています。
定量位相顕微鏡は、試料表面の形状を測定出来るために、必要な加工形状に応じた最適な加工条件の導出、加工品の生産における歩留まり向上に貢献します。
図2 フェムト秒レーザーによるガラス表面加工と表面形状測定
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